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中微半导体NB(离子刻蚀机和MOCVD)

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发表于 2017-12-6 22:58:53 | 显示全部楼层 |阅读模式
转自“科工力量”【扫码关注微信公众号“科工力量”,中国工业科技新闻的权威观察家】
日前,中国半导体设备公司中微半导体与美国Veeco公司的专利战取得阶段性的关键胜利——国家知识产权局专利复审委最新审查决定,否决了Veeco上海有限公司关于中微专利无效的申请,确认中微起诉Veeco专利侵权的涉案专利为有效专利。用事实证明了西方国家对中国进行严格的技术封锁虽然在短期能有一定效果,但长期来看,只会搬起石头砸自己的脚。
中微半导体与美国Veeco公司的专利纠纷
中微半导体公司是国内顶尖水平的半导体设备公司,其创始人尹志尧曾经担任美国应用材料的公司副总裁(应用材料是半导体设备厂商龙头老大),主持过多型设备的研发,在美国工作时就持有86项专利。
在十多年前,尹志尧与三十多位在应用材料、科林等国际巨头有着20—30年半导体设备研发制造的经验的资深工程师一同回国,创立了中微半导体。目前,等离子刻蚀机和MOCVD设备都是中微半导体的主要产品。
尹志尧
而这次与美国Veeco公司的专利纠纷出在MOCVD设备上。MOCVD指的是有机金属化学汽相淀积,LED制造中就广泛使用这种设备。此前,美国MOCVD设备巨头Veeco宣布,美国纽约东区地方法院同意Veeco一项禁令请求,禁止中微半导体设备的晶圆承载器供应商SGL向其供货。Veeco公司这么做的主要目的是通过断绝中微半导体的零件供应链来打击竞争对手。
之后,中微半导体不甘示弱发起反击,向福建高院正式起诉Veeco,指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利,要求其停止侵权,并主张上亿元侵权损害赔偿。
中微半导体表示:曾为其关键技术投入了大量的研发费用和知识产权保护并进行专利申请布局数年。之后,Veeco公司才随之应用相同技术解决方案;同时,Veeco公司是在中微申请该涉案专利之后,才提交相近的专利申请,并使用于其EPIK 700产品上,由此认为Veeco美国侵犯了中微的专利权。
作为回击,Veeco公司在上海对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求,不过,该请求被驳回,专利复审委确认中微专利为有效专利。
奥巴马亲自否决中资收购德国爱思强
说起中微半导体和美国Veeco恐怕很多人会感到陌生。但MOCVD设备部分网友或许会有印象。在去年,中资试图收购的德国爱思强公司,其主要业务就是MOCVD设备。
在过去,MOCVD设备的市场份额主要被美国Veeco和德国爱思强占据,因而对于中国来说,如果能够收购美国Veeco或德国爱思强公司,则能快速提升自己在MOCVD设备领域的话语权,并存在将技术逐步转移到国内的可能性。
德国半导体设备制造商爱思强
在德国爱思强公司连年亏损的情况下,中国资本着手收购爱思强公司,并且给出了很有优厚的条件——收购协议中规定爱思强公司的总部和研发中心位置不变,核心技术研发团队保持稳定,CEO等主要高管仍延续现有的人员,中资将继续支持爱思强的新技术和产品研发,所有技术和相关知识产权仍然归爱思强所有,中资仅将获得6个监事会席位中的4个等等。
然而,既便如此,这依旧遭到了美国的阻扰。在2016年10月,在美国情报部门的干涉下,德国经济部宣布,撤回之前对福建宏芯基金收购德国半导体设备制造商爱思强公司发放的通行证,并重启相应评估程序。
对此,爱思强最大股东Argonaut资本公司在官网上发布了一篇措辞强硬的公告,谴责德国政府的这一行为“尽显贸易保护主义者的姿态”。
在之后的审查中,时任美国总统奥巴马最终宣布禁止中资企业收购德国某半导体设备厂商在美国的业务。这是在过去25年中美国总统第三次以国家安全风险为由否决商业交易。
虽然奥巴马亲自否决收购案,在短期看来使中国失去了直接收购德国爱思强公司的机会,但长期看来,却使中国本土MOCVD设备企业获得了发展的良机。
中国企业有望在市场和专利战中获胜
近年来,中国LED制造行业的快速发展,加上LED芯片呈现供不应求的状况,使LED制造商的利润普遍增长较快。根据LED芯片厂三季度报来看,主要厂商利润都取得了超过50%以上的成长。
在这种情况下,国内企业有很强的扩产动力,比如三安光电、华灿光电等公司都在积极扩张产能,这又进而增加了国内企业对MOCVD设备的需求。据估算,到2017年底,中国大陆的MOCVD累积安装量占全球总量的比例将超过50%。
国内企业公司对MOCVD设备的需求带动半导体设备商的业务,仅中微半导体出售给华灿光电和三安光电等公司的MOCVD设备就不少于100台,而且中微半导体的MOCVD设备不仅具有很高的性价比,在技术上也有非常高的水平,在央视的采访中称,该设备已经达到世界顶尖水平。
中微金属有机化合物气相沉积MOCVD设备Prismo A7
可以说,中微半导体的MOCVD设备在中国大陆逐渐取代美国Veeco公司和德国爱思强公司的设备只是时间问题。正是因此,美国Veeco公司才会采用非常手段,打击中微半导体,而不是采用正常的比技术、拼价格的商业竞争模式。
那么,中微半导体与美国Veeco公司的专利战能打赢么?
其实,我们从中微半导体与美国半导体设备公司以往的专利战中可以发现,中微半导体一直处于不败之地。
早在数年前,应用材料和科林(都是半导体设备巨头)相继对中微半导体提起专利诉讼。在中微半导体拿出了关键技术的专利证据之后,两次旷日持久的诉讼都以中微半导体获胜告终。
之后,美国商业部的工业安全局特别发布公告:由于认识到中国可以做出具有国际竞争力的,而且有大量生产的等离子刻蚀机,所以决定把等离子刻蚀机从美国对中国控制的单子上去掉了。
而本次专利诉讼的结果很可能也是类似。根据中微半导体公开的信息:涉案的Veeco美国专利技术早在60年代开始就被大量前置专利公开,距今已有五十年历史,中微认为Veeco美国涉案专利不符合专利法要求,应属无效专利。
对于纽约东区地方法院发布的禁止令,中微半导体表示:纽约东区地方法院法官在未能有机会全面了解专利无效证据、未对Veeco美国的专利有效性和基片托盘是否真正侵权作出明确判断的情况下,罕见发出了禁止基片托盘供应商给中微提供托盘的临时禁运令。
对此,中微资深副总裁、首席运营官兼MOCVD产品事业部总经理杜志游表示:“中微对日前美国纽约东区地方法院作出临时禁令表示非常遗憾”,杜志游还表示“Veeco要为其侵权行为付出代价。”
从目前公开的消息来看,虽然在短时间内无法改变美国法院发布的禁止令,但就中微半导体与美国Veeco公司在中国的官司而言,Veeco公司获胜的几率是非常渺茫的。
扫码关注微信公众号“科工力量”,中国工业科技新闻的权威观察家

发表于 7 天前 | 显示全部楼层
并非文章中写的那么简单。
中微在MOCVD市场份额已经和Veeco差不多了。之前德国爱思强之所以要卖身,就是因为爱思强的大客户都开始换到中微了。
在Veeco宣布,美国纽约东区地方法院同意Veeco禁令请求后,中微半导体表示,SGL供应给公司的石墨盘并未侵犯Veeco的专利,中微半导体在过去十年中也从未在专利上输过官司。接下来,该公司将在三个方面推动解决上述问题:一是积极发展第二和第三渠道的供应商,预计一个月即可完成产品验证,两三个月即可解决批量问题,春节前即可恢复对客户的石墨盘供应;二是SGL已在美国提起反诉,预计很快将取得进展;三是针对专利方面,公司已在中国对Veeco提起专利侵权诉讼。
其实Veeco也知道,仅仅凭美国纽约东区地方法院的禁令是根本无法打败中微的,也无法夺取中微的市场份额的。Veeco的策略和三星,华为,苹果互相讼诉类似,是想和中微最后达成协议,一个是想让中微从Veeco采购晶圆托盘,另一个是希望能够和中微在全球市场上进一步合作,特别是能在中国能够两家形成垄断市场。
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
持续关注。led、oled、mled的持续自主突破和实用!
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
还有光刻 蚀刻 等自主芯片技术的n+3追及突破路上。
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
在中微半导体拿出了关键技术的专利证据之后,两次旷日持久的诉讼都以中微半导体获胜告终。
之后,美国商业部的工业安全局特别发布公告:由于认识到中国可以做出具有国际竞争力的,而且有大量生产的等离子刻蚀机,所以决定把等离子刻蚀机从美国对中国控制的单子上去掉了。

因为你研发出了,做到了,量产白菜化了,帝国主义们也就无从限制和继续暴利了,更主要的是自主发展的权利紧握在手。
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发表于 7 天前 | 显示全部楼层
自己发展吧,靠谁不如靠自己。
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